Тендер - Открытый аукцион на право заключения Государственных контрактов на поставку оборудования для ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова» по проекту «Реконструкция лабораторно-производственных участков микроэлектроники…» №191144

Предмет контракта: Лот № 1: – Система диффузионная однозонная многотрубная с электронным управлением СДОМЗ/100 (или эквивалент) – 1 шт.; – Комплект откачных средств для установки пиролитического осаждения HCVD-55, в составе:1. форвакуумный насос типа A2DS60 (или эквивалент) – 3 шт.;2. насос РУТСа типа RPW 600 Sp (или эквивалент) – 3 шт.;– Система управления на базе IBM PC для установки пиролиза HCVD 55 (или эквивалент) – 1 шт.;
Цена контракта: 9 999 999,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 2 – Прибор для измерения низкого удельного сопротивления Loresta-GP MCP T610 RMH008C (или эквивалент) – 1 шт.
Цена контракта: 787 400,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 3:- Насос вакуумный спиральный безмаслянный XDS 35i (или эквивалент) – 1 шт.;- Крионасос в комплекте с компрессором Cryo Torr 10 (или эквивалент) – 1 шт.;- Насос мембранный MZ2 (или эквивалент) – 2 шт.;
Цена контракта: 2 216 000,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 4:- Блок электропитания разряда – 1 шт.;- Блок электропитания смещения – 1 шт.;
Цена контракта: 1 100 000,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 5 – Установка химико-динамического и анизотропного травления КСТ-01Н (или эквивалент) – 1 шт.;
Цена контракта: 750 000,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 6 – Установка ультразвукового сверления отверстий в стекле – 1 шт.;
Цена контракта: 570 000,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 7 – Измеритель параметров полупроводниковых приборов ИППП-1/6 (или эквивалент) – 2 шт.
Цена контракта: 840 000,00 RUB

Предмет контракта: Лот № 8 – Установка напыления лития – 1 шт.
Цена контракта: 7 000 000,00 RUB