Тендер - Закупка запасных частей к установкам Rainbow 4520XL, Rainbow 4520, Rainbow 4500, LAM 590, TCP 9400, TCP 9600 №268108796

Предмет контракта: 1) Электрод верхний, 8 дюймов Upper electrode Silicone 8" Hi temp 839-011907-100 - 2 шт. 2) Электрод верхний, 8 дюймов Upper electrode Silicone 8" Hi temp839-011907-001 - 2 шт. 3) Нижнее ограничительное кольцо (легированный кремний) Right Hot Edge Hi Wall ESC 8" 716-140139-001 - 2 шт. 4) Нижнее ограничительное кольцо Right Hot Edge Hi Wall ESC 8" 716-140139-211 - 2 шт. 5) Электрод нижний 8 дюймов Lower electrode ESC 8" 839-440462-308 - 1 шт. 6) Нижнее ограничительное кольцо (керамика) Ceramic lower restrictor ring 716-140118-001 - 2 шт. 7) Верхний кварцевый изолятор Upper quartz insulator (Ring uper keyed) 716-140432-001 - 2 шт. 8) Кварцевое кольцо Quartz confinement ring 716-140236-002 - 2 шт. 9) Ограничитель фторопластовый Ring SHRD KEYED (fluoroplastic) 713-140433-001 - 1 шт. 10) Кварцевое окно Quartz window 716-011533-001 - 4 шт. 11) Кольцо уплотнительное (уплотнения на окна) O-Ring 5/16 IDX 3/32 C/3-XL 734-008819-001 - 8 шт. 12) Винт крепёжный для кварцевых колец Screw FH,1/4-20 KEL-F 720-009530-016 - 30 шт. 13) Винт крепёжный керамический с потайной головкой Screw slot flat HD 14-20 UNCX1 14 nylon 720-095483-020 - 30 шт. 14) Клапан электромагнитный Solenoid valve (dual) 766-009447-001 - 20 шт. 15) Клапан электромагнитный Solenoid valve (single) 766-009446-001 - 20 шт. 16) Датчик вакуумный Vacuum sensor(Convection Gauge) Granville phillips company (or MKS Instruments) VSR 1/4" fitting female nut - 4 шт. 17) Ремень зубчатый Timing belt SDP A 6Z16-453025 p/n 453MXL025G length 920,50mm; width 6,40mm (3/16") 453 Teeth; neoprene - 10 шт. 18) Кольцо уплотнительное Х-образное сечение Seal X-Ring 21,82х3,53 - 50 шт.
Цена контракта: 101 000,00 BYN Количество: 192 шт.,

Предмет контракта: 1) Ограничительное кольцо Confinement Ring, Virgin Teflon 713-028553-001 - 3 шт. 2) Электрод верхний 8 дюймов Uper electrode Silicone 8" Hi temp 839-011907-100 - 1 шт. 3) Нижний электрод 8 дюймов Lower electrode ESC 8" 839-440462-308 - 1 шт. 4) Нижнее ограничительное кольцо Right Hot Edge Hi Wall ESC 8" 716-140139-211 - 1 шт. 5) Держатель пластин в сборе ASSY, WFR HLDR, TIGHT POCKET 6" 853-012176-006 - 1 шт. 6) Деталь манипулятора в сборе ASSY EXIT ARM 6" 853-012095-006 - 1 шт. 7) Электромагнитная муфта HARMONIC ARM DRIVE 853-320030-003 - 1 шт. 8) Рычаг руки манипулятора ARM HOUSING ASSEMBLY 853-012100-003 - 1 шт. 9) Энкодер ENCODER, SHAFT 765-008372-001 - 1 шт. 10) Ведущий вал с шестернёй SUB-ASSY, LD SCREW, 20mm (driver) 854-011153-001 - 1 шт. 11) Ведомый вал с шестернёй SUB-ASSY, LD SCREW, 20mm (driven) 854-011153-002 - 3 шт. 12) Плита упора подшипника PLATE, BEARING MOUNT 715-011122-002 - 4 шт. 13) Шайба SPACER, UPPER, .95 OD X.90 LG 715-011109-001 - 1 шт. 14) Подшипник BEARING, DBL ROW, ANG CONT., 15mm 746-007652-001 - 4 шт. 15) Вал SCR, SCUD SHLDR,10-32 756-007809-010 - 1 шт. 16) Шайба SPASER, PRECISION SHAFT,1/4 OD 723-007749-001 - 4 шт. 17) Гайка NUT, JAM HEX 1/4-20 722-000966-002 - 1 шт. 18) Кольцо стопорное RING, RETAINING 726-001046-001 - 1 шт.
Цена контракта: 233 500,00 BYN Количество: 31 шт.,

Предмет контракта: 1) Зажимное кольцо керамическое Ceramic Clamp attachment plate 716-0286680268 rev.C - 6 шт. 2) Верхний электрод 6 дюймов Upper electrode 6" 716-011564-001-H - 4 шт. 3) Нижний электрод 6 дюймов CAP Lower electrode 6" p/n 715-011673-006 715-011673-006 revA - 2 шт. 4) Шестерёнка SPROCKET DRIVER 1214 PD 765-007786-001 - 1 шт. 5) Пластина зажима PLATE WAFER CLAMP ATTACHMENT LAM 4500 SYSTEM 716-011923-001 rev. F - 2 шт. 6) Привод руки манипулятора Harmonic Arm Drive 853-012123-001 - 1 шт. 7) Манипулятор Arm Housing 853-012100-003 - 1 шт. 8) Кабель Cable ASSY, CA, STPR MTR ARM DRIVE 853-017933-001 - 1 шт. 9) Кабель входящего сигнала CABLE ENTRANCE LL SIGNAL 853-017941-001 - 1 шт. 10) Клапан электромагнитный Solenoid valve EVR 3s Danfoss p/n 032L1204 / 032F1204 Connection - 3/8" - 4 шт. 11) Катушка для клапана электромагнитного Danfoss Coil BE230AS p/n 018F6701 (220V) - 4 шт. 12) Регулятор давления Pressure control KVL 15 Danfoss p/n 034L0049 - 2 шт. 13) Клапан электромагнитный Solenoid valve EVR10 Danfoss p/n 032L8098 - 4 шт. 14) Блок питания Power supply Mean Well LRS-150F-5 - 1 шт. 15) Блок питания Power supply Mean Well LRS-150-15 - 2 шт.
Цена контракта: 221 500,00 BYN Количество: 36 шт.,

Предмет контракта: Пневмоцилиндр Air cylinder А3B 386В Cylinder arm drive Fabco-Air 770-007494-001 - 2 шт.
Цена контракта: 2 010,00 BYN Количество: 2 шт.,

Предмет контракта: 1) Электрод нижний Lower electrode ESC 718-092-236-081 - 3 шт. 2) Диск кварцевый (крышка реактора) Quartz disk chamber door D=374mm depth= 21mm 716-028454-012 - 4 шт.
Цена контракта: 64 500,00 BYN Количество: 7 шт.,

Предмет контракта: 1) Диск керамический WDO, RF SHPD CER, FXD GANP Ceramic Disk 716-330121-001 - 1 шт. 2) Керамический изолятор электрода Ceramic insulator of electrode 716-330504-081 - 1 шт. 3) Уплотнение реактора Chamber seal O-Ring 14,99 ID x 125 C/S 734-007359-001 - 8 шт. 4) Крышка реактора Chamber Door DSQ O-Ring 17 ID x 1/8 C/SF 734-091994-001 - 2 шт. 5) Уплотнение двери Door Seal 734-007460-001 - 30 шт. 6) Нижний электрод Lower electrode insulator Ring KDS 8" GD Ring 716-330504-081 - 1 шт. 7) Уплотнительное кольцо Plate seal O-Ring 11-3/16 ID x 1/8CS 734-090788-001 - 2 шт. 8) Термопара Thermocouple ASSY MARIV, RTD PRI LINE, WVDS 853-034482-004 - 1 шт. 9) Ремень зубчатый Timing belt SDP A 6Z16-453025 p/n 453MXL025G length 920,50mm; width 6,40mm (3/16") 453 Teeth; neoprene - 10 шт.
Цена контракта: 41 500,00 BYN Количество: 56 шт.,